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Bipolar hipims for filling silicon trenches and porous substrate
1 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
2 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
* : Auteur correspondant
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
| Type : | : | Préférence : Poster "Jeunes" |
| Thématiques | : | Session - Posters |
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