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Sputtering process of Aluminum in Ar/He mixtures
1 : Groupe de recherches sur l\'énergétique des milieux ionisés
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7344, Université d'Orléans : UMR7344
2 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
3 : Groupe de recherches sur l\'énergétique des milieux ionisés
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7344, Université d'Orléans : UMR7344
4 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
Université d'Orléans : UMR7344, CNRS : UMRUMR7344, Université d'Orléans : UMR7344
| Type : | : | Préférence : Poster "Jeunes" |
| Thématiques | : | Plasmas basse pression |
| Thématiques | : | Diagnostic |
| Thématiques | : | Session - Posters |
| PDF version | : |  PDF version |
