Parametric study of methane dissociation and deposition rates in a Ar/CH4 RF plasma
Erik Von Wahl  1, @  , Ianis Ellien  1, @  , Thomas Lecas  1, @  , Maxime Mikikian  1, @  
1 : Groupe de recherches sur l\'énergétique des milieux ionisés
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7344, Université d'Orléans : UMR7344
Type : : Préférence : Poster "Jeunes"
Thématiques : Plasmas basse pression
Thématiques : Session - Posters
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