Nucléation dans les plasmas RF Ar/C2H2
1 : Laboratoire des Sciences de Procédés et Matériaux (LSPM), CNRS-UPR 3407
université Paris 13
2 : Groupe de Recherches sur l'Energétique des Milieux Ionisés, UMR6606 CNRS
* : Auteur correspondant
Université d'Orléans