Nucléation dans les plasmas RF Ar/C2H2
Gautier Tetard  1, *@  , Armelle Michau  1@  , Swaminathan Prasanna  1@  , Jonathan Mougenot  1@  , Pascal Brault  2@  , Khaled Hassouni  1@  
1 : Laboratoire des Sciences de Procédés et Matériaux (LSPM), CNRS-UPR 3407
université Paris 13
2 : Groupe de Recherches sur l'Energétique des Milieux Ionisés, UMR6606 CNRS
Université d'Orléans
* : Auteur correspondant

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